“你也懂浸没式理论的变种?”
“这可是英特尔那帮人在实验室里都不敢随便尝试的野路子……”
“因为太费钱,太费时间!但理论上……可行!”
张院士的眼睛越来越亮,最后猛地把烟蒂按灭在烟灰缸里,一把抓住许哲的胳膊,力气大得惊人。
“走!跟我去实验室!”
穿过两条幽暗的走廊,在一间恒温恒湿的净化车间里,许哲见到了一台庞然大物。
它像一只沉睡的钢铁巨兽,外壳的漆面有些剥落,露出了底下的金属色泽。
“这是十年前咱们咬牙从国外引进的,当时可是宝贝疙瘩!”
“后来那是咱们技术不行,用不好,加上人家技术封锁,怕坏了零件也没处修,就一直半闲置着。”
张院士拍了拍机身,眼神像是在看一位并肩作战的老战友。
“你要的深紫外光源,它有!”
“既然你要玩命,咱们就拿它当枪,试试你那个多重曝光的疯狂想法!”
……
接下来的三个月,时间仿佛在这个地下实验室里失去了意义。
没有白天黑夜,只有日光灯惨白的嗡鸣声和机器运转的低吼。
许哲仿佛回到了前世高考前的冲刺,甚至比那时候更疯。
他的衬衫早就分不出颜色,胡茬像杂草一样爬满了半张脸。
“参数不对!第一次曝光的对准偏差超过了五纳米,重来!”
“光刻胶厚度不均匀,刻蚀完图形塌陷了,这一批全部报废!”
“这根本就是不可能完成的任务!我们是在用大刀雕刻米粒!”
实验室的垃圾桶里堆满了报废的晶圆片,像是一座座失败的墓碑。
焦虑、暴躁、绝望的情绪像病毒一样在团队里蔓延。
一名年轻的研究员把防护面罩狠狠摔在操作台上,眼圈通红,声音嘶哑。
“许总,张老,放弃吧!我们已经连轴转了八十天了!这就是在烧钱!”
“那个多重曝光的算法,根本没办法和这台老古董匹配,每一次震动都会导致前功尽弃!”
张院士没说话,只是佝偻着背,死死盯着显微镜,但微微颤抖的双手出卖了他的体力透支。
许哲走过去,捡起那个面罩,轻轻放在台面上。
他的眼睛里全是红血丝,但目光却比这实验室里的激光还要冷、还要硬。
“烧钱?你知道如果不搞出来,我们以后每年要给高通交多少专利费吗?
“那才是烧钱,那是烧我们子孙后代的血汗钱!
他指着那台老旧的光刻机,声音不大,却震得人耳膜生疼。
“我不懂什么物理极限,我只知道,路是人走出来的,这台机器是死的,人是活的!
“震动大?那就加减震台!算法不匹配?那我们就人工校准!
“哪怕是用手调,也要给我调出那个精度来!
“今天谁想走我不拦着,但我许哲,就算死,也要死在这台机器旁边!
没人动。
那个摔面罩的研究员抹了一把脸,默默地重新戴好面罩,咬着牙坐回了控制台前。
“操,接着干!我就不信这个邪!
又是一个深夜。
或者说是凌晨。
许哲靠在墙角,手里捏着半个冷硬的馒头,眼皮沉重得像灌了铅。
就在他意识即将模糊的时候,一声变了调的尖叫瞬间刺破了沉闷的空气。
“出来了!出来了!!
那名负责检测的研究员像个疯子一样跳了起来,手里举着一张刚刚显影的底片,眼泪鼻涕糊了一脸。
“多少?!
张院士几乎是从椅子上弹射出去的,动作快得不像个七十岁的老人。
“零点一零!精度达到零点一零微米!边缘锐利,图形完整!
“虽然离零点零九还差那么一点点,但对于现在的架构来说,已经能用了!勉强能用了!!
张院士一把推开那名欣喜若狂的研究员,整张脸几乎贴到了目镜上。
镜头下,那原本应该模糊粘连的线条,此刻虽不及刀切般平整,却条缕分明,像是一条条被强行
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